칠러(CHILLER)
프로버(Prober)에서 사용하는 온도제어 장치
반도체 테스트 환경에서 ‘온도챔버(Temperature chuck)’
‘dut(device under Test)’ 정밀 온도 제어
반도체 테스트 환경에서 ‘온도챔버(Temperature chuck)’
‘dut(device under Test)’ 정밀 온도 제어
Product
Iron-1 (-100℃ Cryo Chiller
Iron-7 (Wide Range Cryo Chiller)
Iron-10 (Multi Channel Cryo Chiller)
Iron-10T ( 혼합형 Chiller )
Thor-1 (High Temp Heat Exchanger)
Thor-2 (3kW Heat Exchanger)
Thor-3 (2.5kW Heat Exchanger
Thor-5 (5kW Heat Exchanger
Thor-8D (Dual Heat Exchanger)
Thor-25 (13kW Dual Heat Exchanger)
Nos-1 (Multi Channel Air Chiller)
Nos-2 (2kW Rack Type Chiller)
Nos-3 (Multi Channel Air Chiller)
Nos-5 (Multi Channel Air Chiller)
Nos-10 (10kW PCW Chiller)
Hawk-1 (전기 Chiller)
Hawk-5 (Energy Saving )
Hawk-6 (Energy Saving )
MARBLE-1.0 (Cryo Engine)
개발 부품
극저온 기어 펌프
극저온 기어 펌프
용접 가공물 제작품
외부 Coolant Hose (저온용)
외부 Coolant Hose (고온용)
내부 Coolant Hose (기본타입)
내부 Coolant Hose (메쉬타입)
내부 Coolant Hose (탄성타입)
온도 컨트롤러 (UF3000 호환가능)
Coolant 공급 장치 (공급 및 회수, 자동기록)
